電子・半導体工業における膜利用 Membrane Application in Semiconductor Industry

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収録刊行物

  • 空気調和・衛生工学

    空気調和・衛生工学 72(7), 577-584, 1998-07-05

    空気調和・衛生工学会

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

  • <no title>

    浦井紀久

    電子材料, 47-52, 1997

    被引用文献1件

  • Membranes in Semiconductor Industry

    NAMS 95 Workshop

    被引用文献1件

  • <no title>

    TAMURA M.

    International Congress on membranes and Membrane Process 946, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    松尾育朗

    ニューメンブレンテクノロジーシンポジウム'97 1-2-1

    被引用文献1件

  • <no title>

    亀谷真理

    第45回応用物理学関係連合講演会, 28C/II-3, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    MORITA M.

    J. Appl. Phys. 68(3), 1272-1281, 1990

    被引用文献18件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002158873
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00065681
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03864081
  • NDL 記事登録ID
    4514576
  • NDL 雑誌分類
    ZN1(科学技術--建設工学・建設業) // ZN5(科学技術--建設工学・建設業--都市工学・衛生工学)
  • NDL 請求記号
    Z16-99
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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