Characteristics of Molybdenum Thin-film Plate Oscillators Fabricated by Minimum Deformation Micromachining

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収録刊行物

  • International journal of the Japan Society for Precision Engineering  

    International journal of the Japan Society for Precision Engineering 31(1), 53-54, 1997-03-31 

参考文献:  2件

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キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002162264
  • NII書誌ID(NCID)
    AA1080710X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0916782X
  • データ提供元
    CJP書誌 
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