Characteristics of Molybdenum Thin-film Plate Oscillators Fabricated by Minimum Deformation Micromachining
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- MIYAZAKI Kenji
- Chuo University
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- HISAKI Tomoko
- NTT
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- TAKAHASHI Ryouichi
- Chuo University
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- ITAO Kiyoshi
- Chuo University
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収録刊行物
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- International journal of the Japan Society for Precision Engineering
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International journal of the Japan Society for Precision Engineering 31 (1), 53-54, 1997-03-31
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571417124031481088
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- NII論文ID
- 10002162264
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- NII書誌ID
- AA1080710X
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- ISSN
- 0916782X
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- CiNii Articles