An Electrostatically Driven Torsional Resonator with Two Degrees of Freedom (Part 1) -The Principle and Characteristics of Motion-

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著者

収録刊行物

  • International journal of the Japan Society for Precision Engineering  

    International journal of the Japan Society for Precision Engineering 31(2), 135-140, 1997-06-30 

参考文献:  13件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002162402
  • NII書誌ID(NCID)
    AA1080710X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0916782X
  • データ提供元
    CJP書誌 
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