反応生成物を吸引するターボ分子ポンプ Turbo Molecular Pump and Etching By-Products

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著者

収録刊行物

  • ターボ機械  

    ターボ機械 23(11), 639-641, 1995-11-10 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002165294
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00004836
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03858839
  • データ提供元
    CJP書誌 
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