反応生成物を吸引するターボ分子ポンプ

• 西川 秀人

  (株)島津製作所 産業機械事業部

書誌事項

タイトル別名

• Turbo Molecular Pump and Etching By-Products

収録刊行物

• ターボ機械

  ターボ機械 23 (11), 639-641, 1995-11-10

詳細情報

• CRID: 1571135649054808448
• NII論文ID: 10002165294
• NII書誌ID: AN00004836
• ISSN: 03858839
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles