Turbo Molecular Pump and Etching By-Products
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- NISHIKAWA Hideto
- (株)島津製作所 産業機械事業部
Bibliographic Information
- Other Title
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- 反応生成物を吸引するターボ分子ポンプ
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Journal
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- ターボ機械
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ターボ機械 23 (11), 639-641, 1995-11-10
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Details
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- CRID
- 1571135649054808448
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- NII Article ID
- 10002165294
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- NII Book ID
- AN00004836
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- ISSN
- 03858839
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles