極高真空対応ターボ分子ポンプについて Turbomolecular Pumps for Extremely-High Vacuum

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収録刊行物

  • ターボ機械

    ターボ機械 23(11), 651-656, 1995-11-10

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  • <no title>

    浦野

    月刊Semiconductor World 152, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    沢田

    機械学会論文集 (260), 708, 1968

    被引用文献1件

  • <no title>

    ISHIMARU H.

    JVST A12(4), 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002165306
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00004836
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03858839
  • データ提供元
    CJP書誌 
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