低温プラズマと無機材料 Low Temperature Plasma and Inorganic Materials

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  • 無機マテリアル : セッコウ・石灰・セメント・地球環境の科学 = Inorganic materials

    無機マテリアル : セッコウ・石灰・セメント・地球環境の科学 = Inorganic materials 2(256), 212-218, 1995-05-01

    The Society of Inorganic Materials, Japan

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

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    長田義人

    プラズマ重合, 1986

    被引用文献1件

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    野村興雄

    プラズマ化学, 1984

    被引用文献2件

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    長田義人

    低温プラズマ材料化学, 1994

    被引用文献1件

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    菅野卓雄

    半導体プラズマプロセス技術 138, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    明石和夫

    光 プラズマプロセッシング 167, 1986

    被引用文献1件

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    明石和夫

    光 プラズマプロセッシング 168, 1986

    被引用文献1件

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    井原辰彦

    日化 1984, 1575

    被引用文献2件

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    小沼光晴

    プラズマと成膜の基礎 189, 1986

    被引用文献1件

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    明石和夫

    光 プラズマプロセッシング 291, 1986

    被引用文献1件

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    SATO M.

    Proc. 11th Internat. Symp. on Plasma Chem., Loughborough, England 799, 1993

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    プラカッシュ. A.

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    INAGAKI N.

    J. Appl. Polym. Sci. : Appl. Polym. Symp. 46, 173, 1990

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    マイクロ波プラズマエッチング装置とエッチングの方法

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    ITO S.

    Proc. The 4th Internal. Conf. of Plasma Chem. & Technol. 151, 1987

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    井原辰彦

    色材 61(12), 671, 1988

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    松本修

    セラミックス 24, 444, 1989

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    井原辰彦

    日化 1991, 1467

    被引用文献1件

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    中野

    第7回プラズマ材料科学シンポジウムアブストラクト集 73, 1994

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    松岡敬

    材料 42[478], 829, 1993

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    YASUDA H.

    Plasma Polymerization 301, 1985

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    寒川誠二

    NIKKEI MICRODEVICES (7), 99, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002177574
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10455831
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    13407899
  • NDL 記事登録ID
    3614663
  • NDL 刊行物分類
    PA41(無機化学・無機化学工業)
  • NDL 雑誌分類
    ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
  • NDL 請求記号
    Z17-B79
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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