半導体製造工場の空気清浄装置 Air Filtration System for IC Factories

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収録刊行物

  • 設計工学

    設計工学 31(7), 249-252, 1996-07

    日本設計工学会

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    日本エアーテック

    米国連邦規格209Dの翻訳と解説

    被引用文献1件

  • <no title>

    江見準

    クリーンルームテクノロジー講座 13p, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    吉沢晋

    空気清浄 3(2), 46, 1978

    被引用文献1件

  • エアフィルタ設置基準

    エアフィルタ設置基準専門委員会

    空気清浄 5(3), 12, 1967

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002247515
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10402165
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09192948
  • NDL 記事登録ID
    3994714
  • NDL 雑誌分類
    ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1033
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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