非接触エアクッションチャックの吸引支持特性に関する研究 Study on the Suction Support Characteristic of an Air Cushion Chuck for Non-Contact

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著者

収録刊行物

  • 設計工学  

    設計工学 32(8), 317-323, 1997-08 

    日本設計工学会

参考文献:  11件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002248138
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10402165
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09192948
  • NDL 記事登録ID
    4275373
  • NDL 雑誌分類
    ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1033
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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