レーザーアブレーション法による導波路型レーザー結晶の作製 -Si基板上への作製を目指して- Fabrication of Waveguide Laser Crystals by Laser Ablation Method -toward the Fabrication of Laser Crystals on Si Substrates-

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

OEIC (Optoelectronic integrated circuit) which interconnects various optical and electronic elements on thesame substrate, is a promising device in near future. The fabrication method ofoptical waveguides is desirableto be a vapor phase epitaxy and suitable for <I>in situ</I> processing. LPE (Liquid Phase Epitaxy) methods arewidely used to fabricate thin films, but recently much attention has been paid to PLD (Pulsed Laser Deposition) methods in the fabrication of optical thin films with various advantages such as adaptability to <I>in-situ</I>, processing, simple arrangement, stoichiometry of the films, epitaxial quality of complicated compoundmaterials as good as those by MBE (Molecular Beam Epitaxy) and MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). In the present paper, it is experimentally shown that this PLD method is very effective andaffordable as fabrication techniques of these optical thin films.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 26(6), 415-420, 1998-06

    The Laser Society of Japan

参考文献:  41件中 1-41件 を表示

  • <no title>

    SANFORD N. A.

    Opt. Lett. 17, 1578, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    NOUTH S.

    Opt. Lett. 20, 1468, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    HARUNA M.

    Electron. Lett. 30, 412, 1994

    被引用文献7件

  • <no title>

    BRINKMANN R.

    IEEEJ. Quantum Electronics 28, 466, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    LALLIER E.

    Opt. Lett. 15, 682, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    HEMPSTEAD N.

    IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 852, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    FIELD S. J.

    Opt. Lett. 16, 481, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHANDLER P. J.

    Electron. Lett. 25, 985, 1989

    被引用文献2件

  • <no title>

    FIELD S. J.

    Electron. Lett. 17, 52, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    HANNA D. C.

    Opt. Comm. 99, 211, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    BRINKMANN R.

    Electron. Lett. 27, 415, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    BECKER P.

    Appl. Phys. Lett. 61, 1257, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    VOSSLER G. L.

    Electron. Lett. 31, 1162, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHARTIER I.

    Opt. Lett. 17, 810, 1992

    被引用文献6件

  • <no title>

    HANNA D. C.

    Appl. Phys. Lett. 63, 7, 1993

    被引用文献2件

  • <no title>

    SUGIMOTO N.

    Appl. Phys. Lett. 67, 582, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    KATOH Y.

    Technical Digestof Conferenceon Lasers, and Electro-Optics CFJ7, 532, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    DIJKKAMP D.

    Appl. Phys. Lett. 51, 619, 1987

    被引用文献17件

  • <no title>

    RAYNA L. G.

    J. Appl. Phys. 76, 4367, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    RIMAI L.

    Appl. Phys. Lett. 65, 2171, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    TEGHIL R.

    Thin Solid Films 241, 126, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHOU J. C.

    Opt. Lett. 19, 1840, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    INOUE S.

    IEEEJ ournal of Selected Topicsin Quantum Electronics 1, 908, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    SINGH S. K.

    Appl. Phys. Lett. 69, 263, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    YANAGISAWA M.

    IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 21, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    BURNS G. F.

    IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 18, 1992

    被引用文献2件

  • <no title>

    SIMION B. M.

    Appl. Phys. Lett. 66, 830, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    EZAKI M.

    Appl. Phys. Lett. 69, 2977, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    岡田龍雄

    第42回レーザー熱加工研究会論文集 25, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    ADACHI K.

    Technical Digest of Conference on Lasers, and Electro-Optics CFL6, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUMIDA D. S.

    Opt. Lett. 19, 1343, 1994

    被引用文献5件

  • <no title>

    KAMINSKII A. A.

    Laser Crystals(Vol. 14) 321, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    ANDERSON A. A.

    Opt. Comm. 144, 183, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    BONNER C. L.

    Opt. Lett. 22, 988, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    ANDERSON A. A.

    Opt. Lett. 22, 1556, 1997

    被引用文献3件

  • <no title>

    SUGIMOTO A.

    Journal of Crystal Growth 140, 349, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    FIELD S. J.

    Opt. Lett. 16, 1826, 1990

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    FIELD S. J.

    Electron. Lett. 27, 2375, 1991

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    PELENC D.

    Opt. Comm. 115, 491, 1995

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    SHEPHERD D. P.

    J. Appl. Phys. 76, 7651, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    YOKOI H.

    Electron.Lett. 31, 1612, 1995

    DOI 被引用文献7件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002249482
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    4511842
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ