放射光励起プロセスの現状と将来展望 Synchrotron Radiation Stimulated Process -Present Status and Future Prospects-

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抄録

The synchrotron radiation (SR) stimulated process is a new research field, of which studies started about 13 years ago. Up to now, experiments have been conducted mainly aiming the application to semiconductorprocesses and new material synthesis. In this report, after reviewing recent results of several SR stimulatedprocess experiments such as etching, chemical vapor deposition, epitaxial growth, and site specific processes, an application to the nano structure fabrications-nanometric process-is descrived as a future prospective one.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 26(6), 438-443, 1998-06 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  20件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002249564
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    4511846
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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