Development of Photon-Counting Laser-Light-Scattering Method for Detection of Nano-Particles Formed in CVD Plasmas (レ-ザ-および放射光の半導体プロセス分野への応用特集号) Development of Photon-Counting Laser-Light-Scattering Method for Detection of Nano-Particles Formed in CVD Plasmas

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著者

    • 渡辺 征夫 WATANABE Yukio
    • Department of Electronic Device Engineering, Graduate School of Information Science and Electrical Engineering Kyushu University

抄録

A high sensitive photon-counting laser-light-scattering method for detection of nano-particles formed in CVDplasmas is developed to get information on nucleation and subsequent initial growth phase of particles. Size ofparticles is deduced from their diffusion after turning off discharge and their density is obtained using the sizeand absolute light scattering intensity. Using the developed method, we demonstrate detection of smallparticles down to a few nm in size and find the corresponding particle density is a high value of about 10<SUP>11</SUP>cm<SUP>-3</SUP> even in low pressure silane RF discharges of low RF power, which are commonly used to deposit highquality thin films.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 26(6), 449-452, 1998-06 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  23件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002249591
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    4511848
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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