傾斜機能材料のエキシマレーザ加工時に生成するプラズマの時間空間分解特性 Time-Space-Resolved Observation of Ablation Plasma from Functionally Graded Materials in Excimer Laser Processing

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著者

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 26(11), 816-820, 1998-11-15 

    レ-ザ-学会

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002250452
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    4607603
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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