傾斜機能材料のエキシマレーザー加工時に生成するプラズマの時間空間分解特性

• 内田 敬久

• 山田 諄

• 渡辺 茂男

Bibliographic Information

Other Title

• ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ エキシマレーザー カコウジ ニ セイセイ ス

Journal

• レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編

  レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 26 (11), 816-820, 1998-11

  吹田 : レーザー学会

Details

• CRID: 1520290885256946176
• NII Article ID: 10002250452
• NII Book ID: AN00255326
• ISSN: 03870200
• NDL BIB ID: 4607603
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4607603
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles