超精密軟X線光学系の開発と応用--EUVリソグラフィー

• 木下 博雄

書誌事項

タイトル別名

• チョウセイミツ ナンXセン コウガクケイ ノ カイハツ ト オウヨウ EUV リソグラフィー
• 特集 X線工学とその応用
• トクシュウ Xセン コウガク ト ソノ オウヨウ

収録刊行物

• レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編

  レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 27 (1), 20-24, 1999-01

  吹田 : レーザー学会

詳細情報

• CRID: 1520572360231511936
• NII論文ID: 10002251153
• NII書誌ID: AN00255326
• ISSN: 03870200
• NDL書誌ID: 1524936
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I1524936
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles