超音波洗浄における異物除去メカニズム -共振気泡による摩擦作用- Particle Removal Mechanism in Ultrasonic Cleaning -Scrubbing Action by Resonant Bubbles-

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抄録

This paper describes an experimental study of a particle removal mechanism in ultrasonic cleaning used in the electronic device manufacturing process. The results are stated briefly as follows;<br>(1) In ultrasonic cleaning, the scrubbing action of resonant bubbles removes particles.<br>(2) Neither the cleaning mechanism nor ability depend on ultrasonic frequency from 37kHz to 1MHz.<br>(3) Ultrasonic cleaning effectively removes perticles larger than 0.2μm in diameter.

収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan  

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 47(1), 37-41, 1996-01 

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  17件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002255428
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    3918090
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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