産業分野における表面分析のケーススタディ　エレクトロニクス産業における表面分析

• 大村 卓一

  (株) 松下テクノリサーチ技術部

書誌事項

タイトル別名

• Applications of the Surface Analysis in the Field of Industry. Surface Analysis in Electronics Industry.
• エレクトロニクス サンギョウ ニ オケル ヒョウメン ブンセキ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 47 (4), 305-308, 1996

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Electronics Industry
• Surface Analysis
• Contamination

詳細情報

• CRID: 1390001204115167232
• NII論文ID: 10002256054
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.47.305
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 3947918
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3947918
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles