炭素系薄膜の最近の話題　新超硬材料としての窒化炭素薄膜合成　ダイヤモンドより硬い材料は可能か

• 瀧 優介

  名古屋大学 大学院 日本学術振興会 特別研究員

• 高井 治

  名古屋大学 工学部

書誌事項

タイトル別名

• Development of New Carbon Thin Films. Synthesis of Carbon Nitride Thin Films as A New Super Hard Material. Is the Material Harder than Diamond Possible?
• シン チョウコウ ザイリョウ トシテノ チッカ タンソ ハクマク ゴウセイ ダ
• Is The Material Harder than Diamond Possible?
• ダイヤモンドより硬い材料は可能か

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 47 (5), 407-413, 1996

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Carbon Nitride
• Super Hard Material
• CVD
• PVD
• Thin Film

詳細情報

• CRID: 1390001204113819392
• NII論文ID: 10002256269
• NII論文ID: 10010386327
• NII論文ID: 10003125018
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.47.407
• COI: 1:CAS:528:DyaK28Xjt1ygtb0%3D
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 3960062
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3960062
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles