フッ素系ガスによる薄膜堆積装置のクリーニング Plasmaless Dry Cleaning of CVD System with Fluorine-Containing Gases

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 47(6), 493-497, 1996-06

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

  • 半導体製造ラインにおける次世代ウエハ汚染制御と除害設備対策

    高橋広成

    サイエンスフォーラム講演予稿集 3-1-1, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOURI I.

    Proc. of 7th Regular Meeting of Japanese-Soviet Fluorine Chemists

    被引用文献1件

  • <no title>

    渡辺信淳

    フッ素化学と工業(I) 52, 1973

    被引用文献1件

  • <no title>

    大見忠弘

    フッ素化学 95, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    IBBOTOSON D. E.

    J. Appl. Phys. 56(10), 15, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    斎藤洋司

    電子情報通信学会誌 13, SDM89-3, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    毛利勇

    第13回フッ素フォーラム資料, 13-5, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    LEE S. G.

    J. Loss Prev. 5(13), 192, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    李相坤

    燃焼の化学と技術 1, 129, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    李相坤

    安全工学 33, 2, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOURI I.

    14th Int. Sym. on Fluorine Chemistry 1A 03, 3, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    藤井正

    春季応用物理学会講演予稿集, 30aC 11/II 783, 1995

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002256485
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    3976390
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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