パルスマイクロ波プラズマCVDによる微細粒ダイヤモンド膜の合成 Fine Grain Diamond Film Synthesis Using Pulse Microwave Plasma CVD

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan  

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 47(6), 548-549, 1996-06 

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002256622
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09151869
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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