マイクロ波プラズマCVD法による種々の表面処理を施した炭素鋼基板でのダイヤモンド膜合成 Synthesis of Microwave Plasma CVD Diamond-Film on Variously-Coated Carbon-Steel Substrates

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

Diamond films were synthesized by microwave plasma chemical vapor deposition (CVD) on carbon steels with various surface treatments, including gas carbonitriding, carburizing and TiN coating. Films were analyzed for their crystallinity using Raman microprobe spectroscopy. On pure iron substrates and carbon steel with gas carbonitriding and carburizing, diamond films containing amorphous carbon grew over the powder-like graphite that was formed. On TiN-coated carbon steel substrates, diamond films with excellent crystallinity grew without the formation of the powder-like graphite. This suggests that the TiN layer inhibits Fe atom diffusion. Crystallinity and the ratio of amorphous carbon contents of diamond film have little dependence on the carbon content of the steels used in this study.

収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 47(7), 611-615, 1996-07

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    MATSUMOTO S.

    J. of Mater. Sci. 17, 3106, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    陳家富

    表面技術 40, 665, 1990

    被引用文献4件

  • <no title>

    松原秀彰

    NEW DIAMOND (16), 9, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    坂本幸弘

    表面技術 44, 811, 1993

    被引用文献5件

  • <no title>

    坂本幸弘

    表面技術 45, 1130, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    WEISER P. S.

    J. Appl. Phys. 76, 2164, 1994

    被引用文献4件

  • <no title>

    吉川正信

    28, 133, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    (社)表面技術協会

    PVD CVD皮膜の基礎と応用 129, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    HIROSE Y.

    J. Appl. Phys. 68, 6401, 1990

    被引用文献13件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002256789
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    3995261
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ