R. F誘導結合型プラズマを用いたスパッタリングによる窒化ホウ素薄膜の作製 Preparation of Boron Nitride Thin Films by Sputtering Using RF Inductived Plasma

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 47(10), 887-888, 1996-10

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    MIENO M.

    J. Appl. Phys. 29, L1175, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    TAKI Y.

    J. Surf. Finishing Soc. Jap. 46, 351, 1995

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002257381
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09151869
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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