マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用　　光ディスク・ＤＶＤ量産装置

• 太田 淳

  日本真空技術 (株) 千葉超材料研究所

• 五十嵐 日出明

  日本真空技術 (株) 千葉超材料研究所

• 吉瀬 寿彦

  日本真空技術 (株) 電子機器事業部

• 長沢 昭治

  日本真空技術 (株) 電子機器事業部

書誌事項

タイトル別名

• Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Mass Production System for Optical Disc and DVD.
• ヒカリ ディスク DVD リョウサン ソウチ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 48 (11), 1065-1069, 1997

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Single Disc System
• Sputtering Equipment
• Optical Disc
• DVD

詳細情報

• CRID: 1390282679090843904
• NII論文ID: 10002260168
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.48.1065
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 4334594
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4334594
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles