半導体製造用ステンレス鋼の微量腐食

• 泊里 治夫

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• ハンドウタイ セイゾウヨウ ステンレス コウ ノ ビリョウ フショク

Journal

• 材料と環境 = Corrosion engineering of Japan

  材料と環境 = Corrosion engineering of Japan 46 (4), 202-209, 1997-04

  東京 : 腐食防食学会

Details

• CRID: 1520290885346309632
• NII Article ID: 10002263662
• NII Book ID: AN10235427
• ISSN: 09170480
• NDL BIB ID: 4184907
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4184907
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles