全反射X線侵入深さの評価 Evaluation of the Penetration Depth of Total-reflection X-rays

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抄録

We have studied an experimental method to evaluate the penetration depth of total-reflection x-rays, which is an important factor for total-reflection x-ray analysis. The penetration depth can be evaluated by measuring the takeoff-angle dependence of x-ray fluorescence. We have developed a new glancing-incidence and glancing-takeoff x-ray analytical apparatus. Using this apparatus, we evaluated the penetration depth of Mo K<SUB>α</SUB> into a GaAs wafer. The experimental results agreed well with the theoretical penetration depth.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 18(7), 424-428, 1997-07

    The Surface Science Society of Japan

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002264730
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4246959
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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