偏光解析法における膜厚測定および有効媒質近似理論

• 川畑 州一

Bibliographic Information

Other Title

• ヘンコウ カイセキホウ ニ オケル マクアツ ソクテイ オヨビ ユウコウ バイ
• 特集:分光エリプソメトリー
• トクシュウ ブンコウ エリプソメトリー

Abstract

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Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 18 (11), 681-686, 1997-11

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1523951030180814208
• NII Article ID: 10002265451
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 4332998
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4332998
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles