分光エリプソメトリーを用いた薄膜成長の実時間観察と制御 Real-Time Monitoring and Control of Thin-Film Growth Using Spectroscopic Ellipsometry

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著者

    • 齊藤 忠 SAITOH Tadashi
    • 東京農工大学工学部電子情報工学科 Faculty of Technology, Tokyo University of Agriculture and Technology

収録刊行物

  • 表面科学  

    表面科学 18(11), 695-699, 1997-11 

    日本表面科学会

参考文献:  16件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002265480
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4333000
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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