超熱原子ビームによるエッチング反応

• 唐橋 一浩

Bibliographic Information

Other Title

• チョウ ネツ ゲンシ ビーム ニヨル エッチング ハンノウ
• 特集:新しいビーム源の開発とその表面反応・薄膜作製への応用
• トクシュウ アタラシイ ビームゲン ノ カイハツ ト ソノ ヒョウメン ハンノ

Abstract

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 18 (12), 736-742, 1997-12

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1520854805573196928
• NII Article ID: 10002265596
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 4352373
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4352373
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles