ガスクラスターイオンビームによる表面エッチング A New Sputter Etching Technology by Gas-Cluster Ion Beam

この論文をさがす

著者

    • 山田 公 YAMADA Isao
    • 京都大学工学部附属イオン工学実験施設 Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University
    • 松尾 二郎 MATSUO Jiro
    • 京都大学工学部附属イオン工学実験施設 Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University
    • 青木 学聡 AOKI Takaaki
    • 京都大学工学部附属イオン工学実験施設 Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University
    • INSEPOV Zinetulla
    • 京都大学工学部附属イオン工学実験施設 Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 18(12), 743-751, 1997-12-10

    日本表面科学会

参考文献:  31件中 1-31件 を表示

  • <no title>

    YAMADA I.

    Nucl.Instrum & Methods 74, 341, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    山田公

    応用物理 66, 559, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    NOJIRI K.

    J.Vac.Sci.Technol 11, 1819, 1993

    被引用文献7件

  • <no title>

    OEHRLEIN G. S.

    J.Electrochem.Soc 132, 1441, 1985

    被引用文献7件

  • <no title>

    HANDERSEN H.

    Sputtering by Particle Bombardment 145, 1981

    被引用文献1件

  • Advanced Metallization for Future ULSI

    YAMADA I.

    Materials Research Society Symposium Proceedings, 1996 427, 265, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAMADA I.

    J. Vac. Sci. Technol. A14May/Jun, 781, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUO J.

    Nucl. Instrum. Methods B121, 459, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    INSEPOV Z.

    Nucl. Instrum. Methods B99, 248, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    AOKI T.

    Nucl. Instrum. Methods B121, 49, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    SIGMUND P.

    Appl. Phys. 47, 9, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    JOHAR S. S.

    Surf. Sci. 90, 319, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    THOMPSON D. A.

    Radiation Effects 56, 105, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    BLAIN M. G.

    Phys. Rev. Lett. 63-15, 1625, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    HENKES P. R. W.

    Vacuum 39, 541, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    GSPANN J.

    Nucl. Instrum. Methods B112, 86, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    KITAZOE Y.

    Surf. Sci. 111, 381, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUO J.

    Nucl.Instrum & Methods 99, 224, 1995

    被引用文献4件

  • <no title>

    SEKI T.

    Nucl. Instrum. Methods B121, 498, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUO J.

    Nucl. Instrum. Methods B112, 89, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    INSEPOV Z.

    Nucl. Instrum. Methods B112, 16, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    MATSUO J.

    J. Vac. Sci. Technol. B14, 3951, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    豊田紀章

    電子情報通信学会技術研究報告 95, 69, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    AKIZUKI M.

    Nucl. Instrum. Methods B99, 229, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    AKIZUKI M.

    Nucl. Instrum. Methods B112, 83, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    AKIZUKI M.

    Extended Abstracts of the 1995 Internal Conference on Solid State Devices and Materials, Osaka, 1995 31, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    FAIR R. B.

    Rapid Thermal Processing 169, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    JONES K. S.

    Rapid Thermal Processing 123, 1993

    被引用文献6件

  • <no title>

    GOTO K.

    IEDM Tech. Dig. 435, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    TAKEUCHI D.

    Nucl. Instrum. Methods B121, 345, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    BEUHLER R.

    Chem. Rev. 86, 521, 1986

    DOI 被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002265615
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4352374
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
ページトップへ