自己組織化によるSiナノ構造のウェーハスケール制御

• 荻野 俊郎

• 本間 芳和

• 日比野 浩樹

Bibliographic Information

Other Title

• ジコ ソシキカニヨルSi ナノ コウゾウ ノ ウェーハスケール セイギョ
• 特集:半導体自己組織化の表面科学,表面制御
• トクシュウ ハンドウタイ ジコ ソシキカ ノ ヒョウメン カガク ヒョウメン

Abstract

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 19 (9), 557-564, 1998-09

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1524232505177452160
• NII Article ID: 10002265970
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 4557980
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4557980
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles