走査プローブ法によるリソグラフィーの方向性-ナノ構造の構築からその物性や機能の計測へ- The Present and Future of Nano-Lithography Using Scanning Probes-How to Measure the Properties of Nano-Lithographed Structures-

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  • 表面科学

    表面科学 19(11), 698-707, 1998-11

    日本表面科学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002266326
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4600396
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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