走査プローブ顕微鏡を用いた10ナノメータレベルリソグラフィー

• 石橋 雅義

• 平家 誠嗣

• 梶山 博司

書誌事項

タイトル別名

• ソウサ プローブ ケンビキョウ オ モチイタ 10ナノ メータレベルリソグラフ
• 特集:STM,AFMリソグラフィーによる半導体微細プロセスの現状
• トクシュウ STM AFM リソグラフィー ニ ヨル ハンドウタイ ビサイ プ

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 19 (11), 722-726, 1998-11

  東京 : 日本表面科学会

詳細情報

• CRID: 1521136280764011648
• NII論文ID: 10002266431
• NII書誌ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 4600399
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4600399
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles