走査プローブ顕微鏡を用いた10ナノメータレベルリソグラフィー Ten-nanometer Level Lithography Using Scanning Probe Microscopy

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収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 19(11), 722-726, 1998-11

    日本表面科学会

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

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    望月洋介

    日経マイクロデバイス 3, 121, 1998

    被引用文献1件

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    勝村昌広

    1996秋季応用物理学会予行集, 1996

    被引用文献1件

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    EIGLER D. M.

    Nature 344, 524, 1991

    被引用文献1件

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    SNOW E. S.

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    被引用文献28件

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    SOHN L. L.

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    被引用文献5件

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    MARRIAN C. R. K.

    J. Vac. Sci. Technol. B10, 2877, 1992

    被引用文献8件

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    MAJUMDAR A.

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    被引用文献15件

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    ISHIBASHI M.

    Appl. Phys. Lett. 72, 1581, 1998

    被引用文献10件

  • 1997 Symposium on VLSI Technology

    SOH H. T.

    Digest of Technical Papers 129, 1997

    被引用文献1件

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    WILDER K.

    J. Vac. Sci. Technol. B15, 1811, 1997

    被引用文献5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002266431
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4600399
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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