ヘリウム原子線散乱　銅表面での原子状水素の効果

• 三宅 竜也

  株式会社日立製作所基礎研究所

• PETEK Hrvoje

  Advanced Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

書誌事項

タイトル別名

• Helium Atom Scattering; Effects of Atomic Hydrogen on Cu Surfaces.
• ヘリウム ゲンシセン サンラン ドウ ヒョウメン デ ノ ゲンシジョウ スイソ

抄録

Helium atom scattering (HAS) is a unique technique suitable for studying the structure and dynamics of the outermost layers of crystalline surfaces. In this report, we describe a very compact high-performance HAS apparatus developed for high resolution surface studies. Result of the helium atom scattering experiments on the single crystal copper surfaces under irradiation by H atoms are discussed. Application of helium atom scattering to the understanding of physical and chemical processes in fabrication of sub-quarter-micron Cu interconnects for ultra-large scale integration circuits is discussed.

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 19 (11), 752-757, 1998

  公益社団法人 日本表面科学会

詳細情報

• CRID: 1390282681432304000
• NII論文ID: 130003683778
• NII論文ID: 10002266496
• NII書誌ID: AN00334149
• DOI: 10.1380/jsssj.19.752
• ISSN: 18814743
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 4600404
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4600404
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj1980/19/11/19_11_752/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可