スパッタリング法による化合物半導体積層構造の評価 An Evaluation of the Multilayer Structures of Compound Semi-conductors Using Ion Sputtering Method

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 20(1), 14-19, 1999-01-10

    日本表面科学会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    藤田大介

    表面科学 14, 324, 1993

    被引用文献2件

  • <no title>

    志水隆一

    ユ-ザ-のための実用オ-ジェ電子分光法, 1989

    被引用文献9件

  • <no title>

    荻原俊弥

    表面科学 13, 606, 1992

    被引用文献2件

  • <no title>

    KIRCHHOFF W. H.

    J. Vac. Sci. Technol. A4, 1666, 1986

    被引用文献2件

  • <no title>

    ZALAR A.

    Surf. Interface Anal. 12, 83, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    OGIWARA T.

    Microbeam Analysis 2, 133, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    TANUMA S.

    Surf. Interface Anal. 17, 929, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOFMANN S.

    Practical Surafce Analysis 160, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    KITADA T.

    Appl. Surf. Sci. 100/101, 89, 1996

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002266914
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    1117045
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ