走査型キャパシタンス顕微鏡による微小領域の半導体不純物分布測定 Two-dimensional Dopant Profile Measurements by Scanning Capacitance Microscopy

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  • 表面科学

    表面科学 20(1), 27-32, 1999-01-10

    日本表面科学会

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002266941
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    1117074
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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