走査型キャパシタンス顕微鏡による微小領域の半導体不純物分布測定

• 峯尾 江利子

• 久保 真紀

• 中沢 正敏

Bibliographic Information

Other Title

• ソウサガタ キャパシタンス ケンビキョウ ニ ヨル ビショウ リョウイキ ノ ハンドウタイ フジュンブツ ブンプ ソクテイ

Abstract

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 20 (1), 27-32, 1999-01

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1523106605054593664
• NII Article ID: 10002266941
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 1117074
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I1117074
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles