縮小露光リソグラフ用レーザープラズマ軟X線光源装置の開発 Development of Laser-plasma Soft X-ray Source for Projection Litohgraphy

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  • 表面科学

    表面科学 20(3), 173-179, 1999-03-10

    日本表面科学会

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002267345
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    4679549
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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