縮小露光リソグラフ用レーザープラズマ軟X線光源装置の開発

• 西村 靖彦

• 坂田 篤

• 東 博純

Bibliographic Information

Other Title

• シュクショウ ロコウ リソグラフヨウ レーザープラズマナンXセン コウゲン ソウチ ノ カイハツ
• 特集:レーザープラズマX線源とその応用
• トクシュウ レーザープラズマ Xセンゲン ト ソノ オウヨウ

Abstract

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Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 20 (3), 173-179, 1999-03

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1520854805641318912
• NII Article ID: 10002267345
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 4679549
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4679549
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles