STMによるシリコン酸化膜を用いたナノ加工プロセス

• 岩崎 裕

• 李 楠

• 吉信 達夫

Bibliographic Information

Other Title

• STM ニ ヨル シリコン サンカ マク オ モチイタ ナノ カコウ プロセス

Abstract

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

Journal

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 20 (6), 435-442, 1999-06

  東京 : 日本表面科学会

Details

• CRID: 1521980704735036544
• NII Article ID: 10002268245
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL BIB ID: 4757738
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4757738
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles