3. 工業利用 3. 2イオン注入による表面改質, 表面処理, 欠陥生成 3. 2 Surface modification by ion implantation.

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  • Radioisotopes

    Radioisotopes 44(9), 661-666, 1995-09

    日本アイソト-プ協会

参考文献:  30件中 1-30件 を表示

  • Proc. of First International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation

    J. Vac. Sci. Tech. B12, 807-998, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZIEGLER J. F.

    The Stopping and Range of Ions in Solids, 1985

    被引用文献57件

  • <no title>

    CHAYAHARA A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, 139-140, 1992

    被引用文献2件

  • <no title>

    CHAYAHARA A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, L1286-L1288, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    久保寺憲一

    応用物理 59, 155-163, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUKUMI K.

    Jpn. J. Appl. Phys. L30, L742-L744, 1991

    被引用文献7件

  • <no title>

    CRAWFORD Jr

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B1, 159-165, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    VREDENBERG A. M.

    Materials Research Society Proceedings 157, 853-858, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI N.

    Proc. 12th Symp. ISIAT '89, Tokyo, 1989, 495-500

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOKUYAMA T.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B19/20, 299-306, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZIEGLER J. F.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B6, 270-282, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKATA J.

    Phys. Rev. B43, 14643-14668, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    MARTIN P.

    J. Appl. Phys. 67, 2908-2912, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    DESTEFANIS G. L.

    J. Appl. Phys. 50, 7898-7905, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    KING G. D. H.

    Electron. Lett. 17, 897-898, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    GOTZ G.

    Nucl. Instr. Meth. 209/210, 1079-1088, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    WEISS B. L.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B21, 584-585, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    HORINO Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 29, 1230-1233, 1990

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    HORINO Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 29, 2680-2683, 1990

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    HORINO Y.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B54, 269-274, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    HENDERSON B.

    Adv. Phys. 17, 749-855, 1968

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    HENDERSON B.

    CRC critical reviews in solid state and material sciences 9, 1-60, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYANO T.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B59/60, 1167-1172, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    SARIS F. W.

    Vacuum 39, 173-176, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    CUI F. Z.

    Appl. Phys. Lett. 53, 2152-2154, 1988

    被引用文献2件

  • <no title>

    VREDENBERG A. M.

    Mat. Sci. Eng. A115, 297-302, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    JOHNSON E

    Nucl. Instrum. Meth. B39, 567-572, 1989

    被引用文献4件

  • <no title>

    JOHNSON E.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B39, 573-577, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKAMOTO I.

    Hyperfine Interactions 42, 1005-1008, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHAYAHARA A.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B59/60, 893-896, 1991

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002391729
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351589
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    00338303
  • NDL 記事登録ID
    3623683
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学) // ZN36(科学技術--原子力工学・工業) // ZP2(科学技術--化学・化学工業--物理化学) // ZS45(科学技術--医学--放射線医学)
  • NDL 請求記号
    Z15-20
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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