3. 工業利用 3. 4イオンビームエッチング Ion beam etching.

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • Radioisotopes

    Radioisotopes 44(9), 673-676, 1995-09

    日本アイソト-プ協会

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

  • <no title>

    WEHNER G. K.

    Phys. Rev. 108, 35, 1957

    被引用文献1件

  • <no title>

    SIGMUND P.

    Phys. Rev 184, 383, 1969

    被引用文献16件

  • <no title>

    KAUFMAN H. R.

    J. Vac. Sci. Technol. 21, 764, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    ONO Y.

    J. Vac. Sci. Technol. A4, 788, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    ARIMATSU K.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B37/38, 833, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    MELNGAILIS J.

    J. Vac. Sci. Technol. B5, 469, 1987

    被引用文献3件

  • <no title>

    KROHN V. E.

    Appl. Phys. Lett. 27, 479, 1975

    被引用文献2件

  • <no title>

    CLAMPIT R.

    J. Vac. Sci. Technol. 12, 1208, 1975

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAITOH K.

    J. Vac. Sci. Technol. B6, 1032, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    NIKAWA K.

    Ann. Proc. Reliab. Phys. 27, 43, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAMADA I.

    Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B79, 223, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    山口剛

    平成7年春季応用物理学会講演 29p-N-2

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOSHIDA A.

    Nucl, Instr. Meth. Phys. Res. B

    被引用文献1件

  • <no title>

    GAMO K.

    J. Vac. Sci. Technol. B8, 1927, 1990

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    KOSUGI T.

    J. Vac. Sci. Technol. B9, 2660, 1991

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002391771
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351589
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    00338303
  • NDL 記事登録ID
    3623685
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学) // ZN36(科学技術--原子力工学・工業) // ZP2(科学技術--化学・化学工業--物理化学) // ZS45(科学技術--医学--放射線医学)
  • NDL 請求記号
    Z15-20
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ