基板に密着した薄膜の熱拡散率の測定法 MEASUREMENT METHOD FOR THE THERMAL DIFFUSIVITY OF THIN FILM WHICH STICKS ON SUBSTRATE

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抄録

薄膜試料が密着した基板部分と参照用の基板だけの部分の光音響信号を比較することにより,基板の熱特性等を測定することなく薄膜試料の熱拡散率が測定できることを示す。基板の前面に薄膜試料がある場合と,後面にある場合の2つの測定法について示す。基板,試料を変えて測定した結果,基板を変えても測定される熱拡散率は試料のバルクで測定されている文献値[28]と試料の厚さ測定の誤差範囲で一致した。

New measurement methods to determine the thermal diffusivity of thin films without measuring heat characteristics for substrates have been proposed in this paper. We propose two kinds of methods for the measurement of thermal diffusivity of thin film: one for thin film that is placed in contact with front surface of substrate, and the other for thin film that is placed in contact with rear surface of substrate. lt was confirmed that measurement values agreed with reported values within range of error of thickness measurement for thin films.

収録刊行物

  • 熱物性 : Japan journal of thermophysical properties

    熱物性 : Japan journal of thermophysical properties 11(2), 46-52, 1997-04-30

    JAPAN SOCIETY OF THERMOPHYSICAL PROPERTIES

参考文献:  28件中 1-28件 を表示

  • <no title>

    PAO Y. H.

    Optoacoustic Spectroscopy and Detection, 1977

    被引用文献4件

  • <no title>

    ROSENCWAIG A.

    Photoacoustics and Photoacoustic spectroscopy, 1980

    被引用文献12件

  • <no title>

    KLIGER D. S.

    Ultrasensitive Laser Spectroscopy, 1983

    被引用文献4件

  • <no title>

    ROSENCWAIG A.

    J. Appl. Phys. 47, 64, 1976

    被引用文献37件

  • <no title>

    OPSAL J.

    Appl. Opt. 22, 3169, 1983

    被引用文献3件

  • <no title>

    BOCCORA A. C.

    Appl. Phys. Lett. 36, 130, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    ROSENWAIG A.

    Opt. Commun. 7, 305, 1973

    被引用文献1件

  • <no title>

    BUSSE G.

    Appl. Phys. Lett. 36, 815, 1980

    被引用文献2件

  • <no title>

    ADAMS M. J.

    Analyst 102, 281, 1977

    被引用文献3件

  • <no title>

    CHARPENTIER P. O.

    J. Appl. Phys. 53, 608, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    PESSOA O.

    J. Appl. Phys. 59, 1316, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    ROUSET G.

    J. Appl. Phys. 54, 2383, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    LACHAINE A.

    Appl. Phys. Lett. 45, 953, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    AKABORI M.

    Int. J. Thermophysics 13, 499, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOMINAGA T.

    J. J. Appl. Phys. 27, 2392, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    小林

    神奈川工科大学紀要 16, 235, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    QUIMBY R. S.

    Appl. Phys. Lett. 35, 43, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    McDONALD F. A.

    Appl. Phys. Lett. 36, 123, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    McDONALD F. A.

    J. Appl. Phys. 52, 381, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUJII Y.

    J. J. Appl. Phys. 20, 361, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本熱物性学会

    熱物性ハンドブック

    被引用文献5件

  • <no title>

    MURPHY J. C.

    J.Appl.Phys. 51, 4580, 1980

    DOI 被引用文献7件

  • <no title>

    ERMERT H.

    Appl. Phys. Lett. 44, 1136, 1984

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    SWIMM R. T.

    Appl. Phys. Lett. 42, 955, 1983

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    LEITE N. F.

    J. Appl. Phys. 61, 3025, 1987

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    PERONDI L. F.

    J. Appl. Phys. 62, 2955, 1987

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    MANSANARES A. M.

    Phys. Rev. B 42, 4477, 1990

    DOI 被引用文献7件

  • Thermal-wave depth profiling: Theory

    OPSAL J.

    J. Appl. Phys. 53, 4240-4246, 1982

    DOI 被引用文献27件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002395800
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10064743
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0913946X
  • NDL 記事登録ID
    4203760
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-524
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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