THE MECHANISM OF SOFT X-RAY STIMULATED ETCHING REACTION IN THE SF_6/SiO_2 SYSTEM

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  • Atomic collision research in Japan

    Atomic collision research in Japan 21, 104-105, 1995-12-25

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    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002401985
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11068271
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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