単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究 Study on Fine Boring of Single Crystalline Silicon by EDM

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著者

収録刊行物

  • 電気加工学会誌  

    電気加工学会誌 30(65), 9-16, 1996-11-01 

    電気加工学会

参考文献:  6件

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被引用文献:  3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002439608
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00151681
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0387754X
  • NDL 記事登録ID
    4161917
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-827
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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