半導体製造用金型の加工における放電加工の位置づけ Present state and future of electrical working. Positioning of EDM in die machining for semi-conductor manufacturing.

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著者

収録刊行物

  • 電気加工学会誌  

    電気加工学会誌 32(69), 37-42, 1998-03-31 

    Japan Society of Electrical Machining Engineers

被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002439731
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00151681
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    0387754X
  • NDL 記事登録ID
    4470968
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-827
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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