Formation of Silicon Nitride Thin Films by RF Ion Plating and Their Properties

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収録刊行物

  • Materials transactions, JIM

    Materials transactions, JIM 37(5), 1056-1060, 1996-05

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

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    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002449340
  • NII書誌ID(NCID)
    AA10699969
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09161821
  • データ提供元
    CJP書誌 
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