Simulation of Growth Rate Variation of CVD-Mo Film along Axial Direction in Horizontal Tubular Reactor

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収録刊行物

  • Materials transactions, JIM

    Materials transactions, JIM 38(4), 299-305, 1997-04

    Japan Institute of Metals

参考文献:  18件中 1-18件 を表示

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被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002452247
  • NII書誌ID(NCID)
    AA10699969
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09161821
  • NDL 記事登録ID
    4209548
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z53-J286
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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