Monitoring of Ultra-Trace Contaminants on Silicon Wafers for ULSI by a Novel Impurity Extraction and AC Surface Photovoltage Methods

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  • Materials transactions, JIM

    Materials transactions, JIM 38(4), 319-325, 1997-04

    Japan Institute of Metals

参考文献:  31件中 1-31件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002452310
  • NII書誌ID(NCID)
    AA10699969
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09161821
  • NDL 記事登録ID
    4209551
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z53-J286
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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