クリーンルームの有機物汚染とその低減策 Airborne Organic Contamination in Clean Rooms and its Reduction Methods

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  • 真空

    真空 41(12), 1001-1010, 1998-12-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  39件中 1-39件 を表示

  • <no title>

    JIS B 9920, 160-167, 1989

    被引用文献2件

  • <no title>

    武田直樹

    半導体クリーンルームの微量化学汚染の評価と対策-UCTカレッジNo. 18資料集, 45-56, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    FERGASON L. A.

    Analysis of Organic Impurities on Silicon Wafer surfaces, Microcontamination, 33-36, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    鍵直樹

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 19-22, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    佐藤克己

    第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 293-296, 1991

    被引用文献2件

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    清田省吾

    クリーンテクノロジー (10), 35-38, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    嶋崎綾子

    第39回応用物理学関係連合講演会予稿集 (2), 686, 1992

    被引用文献1件

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    白水好美

    第41回応用物理学関係連合講演会予稿集 (2), 650, 1994

    被引用文献1件

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    木村幹広

    第55回応用物理学会学術講演会予稿集 (2), 610, 1994

    被引用文献1件

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    池田聡

    第43回応用物理学関係連合講演会予稿集 (2), 704, 1996

    被引用文献1件

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    KASI R. S.

    J. Vac. Sci. Technol. A10(4), 795-801, 1996

    被引用文献2件

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    神保智子

    電子情報通信学会技術研究報告書, 75-82, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    IMAFUKU D.

    Materials Research Society Symposium Proceedings 477, 101-105, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    SEMATECH Technology Transfer #95052812 A-TR, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    林輝幸

    第31回超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム予稿集, 161-170, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    石井貴和

    半導体 集積回路技術第53回シンポジウム講演論文集, 57-63, 1997

    被引用文献1件

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    竹田菊男

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 5-8, 1997

    被引用文献2件

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    高萩隆行

    第42回応用物理学関係連合講演会予稿集 (2), 763, 1995

    被引用文献1件

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    林輝幸

    第57回応用物理学会学術講演会予稿集 (2), 633, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    若林剛

    電気学会基礎 材料 共通部門(A部門)平成8年度総合研究会予稿集, 金属 セラミックス研究会, 55-60, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    上山明美

    第44回応用物理学関係連合講演会予稿集 (2), 772, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    坂本保子

    第16回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 215-218, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    半導体プロセス環境における化学汚染とその対策, 79-100, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    佐藤克巳

    第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 293-296, 1993

    被引用文献2件

  • <no title>

    小塩良次

    古文化財の化学 37, 54, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    谷嶋幹子

    第57回応用物理学会学術講演会講演予稿集 (2), 736, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    梶間智明

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 197-200, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    坂本和彦

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 85-88, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    吉川文恵

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 197-202, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    半導体プロセス環境における化学汚染とその対策, 342-367, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    半導体プロセス環境における化学汚染とその対策, 330-341, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOBAYASHI S.

    Proceeding of 5th International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 313-316, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    半導体プロセス環境における化学汚染とその対策, 254-257, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    小林貞雄

    第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (1), 356, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    特開平9-249849

    被引用文献2件

  • <no title>

    特開平9-95661

    被引用文献3件

  • <no title>

    藤本武利

    空気清浄 32(3), 16-25, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    OHMI T.

    Sci. Technol A13(3), 1995

    被引用文献5件

  • <no title>

    藤井敏昭

    空気清浄 32(3), 43-52, 1994

    被引用文献1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002475873
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    971138
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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