クリーンルームの有機物汚染とその低減策 Airborne Organic Contamination in Clean Rooms and its Reduction Methods

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著者

収録刊行物

  • 真空  

    真空 41(12), 1001-1010, 1998-12-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  39件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002475873
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    971138
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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